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产品特点
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| 技术参数 | ||
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型号 |
定制.X/Z15S 定制.X/Z15K |
单位 |
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运动自由度 |
X/Z |
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传感器类型 |
SGS/- |
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标称行程范围(0~+120V) |
12 |
μm±20% |
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行程范围（-20~+150V） |
17 |
μm±20% |
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分辨率 |
1/0.3 |
nm |
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闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
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承载 |
5 |
kg |
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静电容量 |
1.8 |
μF±20% |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
