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一维Z轴压电平移台，包含直驱机构式与放大机构式两种结构形式，一维Z轴运动，产品体积小巧，运动行程从5.5μm至110μm多种规格型号可供选择。
产品特点
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频率负载曲线 
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| 技术参数 | |||
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型号 |
P80.Z100S P80.Z100K |
P80.XY100S P80.XY100K |
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标称行程范围（0~120V） |
80 |
80/ 轴 |
μm±20% |
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行程范围（0~150V） |
110 |
110/ |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
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闭 / 开环分辨率 |
7.5/3 |
7.5/3 |
nm |
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闭环线性度 |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05/- |
0.05/- |
%F.S. |
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推 / 拉力 |
30/10 |
30/10 |
N |
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运动方向刚度 |
0.4 |
X0.3/Y0.4 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
0.4 |
X0.3/Y0.4 |
kHz±20% |
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承载 |
0.8 |
0.7 |
kg |
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静电容量 |
1.8 |
1.8/ 轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢 |
钢 |
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重量 |
50 |
80 |
g±5% |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
