特点
• XYZ三维运动
• 行程范围:300μm/轴
• 无摩擦、高精度挠性导向系统
• 扫描平整度高
• 通孔尺寸:66×66mm
• 闭环阶跃时间:60ms
• 闭环分辨率:13nm
• 承载能力:0.5kg
带载阶跃时间
闭环压电控制器
技术参数
功能:数字与模拟集成式控制器
通道数:3
模拟输入:0~10V
输出电压:0~120/150V
平均电流:70mA
带宽:10kHz
传感器类型:SGS
伺服特性:P.I+低通+陷波
通信接口:RS-232/422、USB
工作温度: 0~50℃
尺 寸:168.5×134×45.5mm
重 量:1.2kg
供电电压:24V DC1.5A(36W)