特点
行程200μm
承载能力0.2kg
毫秒级响应时间
闭环重复定位精度高
聚焦稳定性好
典型应用
三维成像
干涉/计量
生物科技
表面结构分析
共焦显微
半导体测试
开/闭环控制电压与位移曲线
螺纹适配器便于安装
技术参数
型号:P73.Z200S
运动自由度:Z
标称行程范围:160μm@120V
行程范围:200μm@150V
传感器类型:SGS
闭/开环分辨率:11/5nm
闭环线性度:0.1%F.S.
闭环重复定位精度:0.05%F.S.
推/拉力:80/10N
运动方向刚度:0.25N/μm
空载谐振频率:210 Hz
闭/开环空载阶跃时间:20/10ms
闭环空载工作频率:40Hz@10%行程
闭环空载工作频率:10Hz@100%行程
承载能力:0.2kg
静电容量:7.2μF
材质:钢、铝
重量:360g