典型应用
• 三维成像
• 干涉/计量
• 表面结构分析
• 共焦显微
高稳定性,长使用寿命
应用分析实例
技术参数
型号:P73.Z200
运动自由度:Z
行程范围(0~120V):160μm
行程范围(0~150V):200μm
闭环传感器类型:SGS
闭/开环分辨率:11/5nm
闭环线性度:0.1%F.S.
闭环重复定位精度:0.05%F.S.
推/拉力:80/10N
运动方向刚度:0.25N/μm
空载谐振频率:210Hz
闭/开环空载阶跃时间:20/10ms
承载能力:0.2kg
静电容量:7.2μF
材质:钢、铝
重量:360g