技术参数
型号:P11.XYZ100
运动自由度:XYZ
行程范围(0~120V):80μm/轴
行程范围(0~150V):100μm/轴
传感器类型:SGS
闭环分辨率:7nm
闭环线性度:0.1%F.S.
闭环重复度:0.05%F.S.
俯仰/偏航/滚动:<10μrad
推/拉力:30/5 N
运动方向刚度:X0.25/Y0.3/Z0.2N/μm
空载谐振频率:X0.2/Y0.3/Z0.18kHz
闭/开环空载阶跃时间:20/0.8ms
承载能力:0.6kg
静电容量:1.8μF/轴
材质:钢、铝
重量:230g