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芯明天压电纳米定位台特点
更新时间:2019-09-05 16:12:36点击次数:1994次
驱动元件
芯明天压电纳米定位台内部采用压电陶瓷作为驱动元件,主要利用压电陶瓷的逆压电效应,通过对压电陶瓷施加电场,产生纳米级精度的致动位移。
压电陶瓷具有优异性能及超长使用寿命,多种尺寸及位移集成到纳米定位系统中满足不同应用的需求。
压电陶瓷
内部结构
柔性铰链机构结构紧凑且无摩擦,最适合与压电陶瓷组成分辨率高,频响高的超高精度纳米定位台。
同时柔性铰链机构还可以提供适当的预紧,避免压电陶瓷承受拉力,提高压电纳米定位台的使用寿命。
柔性铰链
运动自由度
芯明天压电纳米定位台可以实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴方向的精密运动。
位移行程
芯明天压电纳米定位台的位移行程通常在几微米至几百微米之间,更大行程范围可定制。
分辨率
压电纳米定位台内部采用的压电陶瓷本身具有无限高的分辨率,但由于受外部控制信号及其他因素的影响,使得可实现的分辨率是有限的。
以P63系列为例,配套芯明天E01系列压电控制器,可以实现0.1nm的步进分辨率。
步进分辨率
响应时间
压电纳米定位台的响应时间可达毫秒级,以P11系列为例,配套芯明天E52系列压电控制器可实现0.8ms的响应时间。
响应时间
驱动电压
芯明天压电纳米定位台的驱动电压可在-20V~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
可选闭环反馈
芯明天压电纳米定位台可选配集成 SGS 应变传感器、LVDT 位移传感器或CAP电容传感器,以消除PZT 压电陶瓷的迟滞与蠕变特性,使得输入控制电压与输出位移成线性关系。
芯明天压电产品均可选闭环版本,配套芯明天闭环控制系统,压电控制器通过PID算法进行电压调整对位移进行实时修正,实现纳米级定位精度,稳定性好,可靠性高。
闭环传感器
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