特点
应用
阶跃时间
大行程 稳定性好 响应速度快
应用实例
技术参数
型号 |
S-闭环 K-开环 |
P17.XY200S P17.XY200K |
单位 |
运动自由度 |
X、Y |
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行程范围(0~120V) |
150/轴 |
μm |
|
行程范围(0~150V) |
187.5/轴 |
μm |
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传感器类型 |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
60×60 |
mm |
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闭/开环分辨率 |
8/5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S |
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闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
μrad |
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推/拉力 |
40/15 |
N |
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运动方向刚度 |
X0.2/Y0.2 |
N/μm |
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空载谐振频率 |
X240/Y400 |
Hz |
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闭/开环空载阶跃时间 |
30/5 |
ms |
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闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
50 |
Hz |
100%行程 |
10 |
||
承载能力 |
1 |
kg |
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静电容量 |
3.6/轴 |
μF |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
660 |
g |