XD602系列压电纳米定位台是XYZ三维运动压电平台,它的行程范围为200μm/轴,四个角位分别留有安装固定孔位,易于机构安装。负载安装平台留有10个M3固定位,适于不同结构负载的安装。它的外观较薄,非常易于系统集成。
•XYZ三维运动 •行程200μm/轴 •超薄体积 •可选闭环版本获取更高精度
XD602压电位移台可以选择开环或闭环版本,闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。传感器使用全桥配置以消除热漂移,使得该纳米定位台实现较高的线性度与重复度。
技术参数: