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压电稳像扫描运动与控制系统
更新时间:2020-02-21 14:24:41点击次数:1744次
N62系列压电扫描台为XY轴平移扫描台,机构放大设计原理,中心通孔孔径为26mm,可以实现XY轴±10μm的位移行程,产品体积小巧、结构紧凑易于集成与安装。
高动态、高分辨率、高定位精度
N62系列压电扫描台为小体积高精度平移扫描台,是特别为高分辨率、高动态、高定位精度应用而设计的XY轴扫描台,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现XY轴±10μm的位移行程,分辨率可以达到0.5nm,满行程重复定位精度达纳米级。
产品采用不锈钢材质,特殊的结构设计使其具有非常大的刚度,空载谐振频率达2000Hz,满足工业上对高频率高精度等应用的需求。
动态性能好
N62.XY20K带载10g负载在500Hz频率下位移曲线。
技术参数
型号:
N62
运动自由度:
X、Y
行程范围@120V:
±8μm/轴
行程范围@150V:
±10μm/轴
闭环传感器:
SGS
通孔尺寸:
Ø26 mm
闭/ 开环分辨率:
1/0.5 nm
闭环线性度:
0.3%F.S
闭环重复定位精度:
0.1%F.S
运动方向刚度:
X2.2/Y2.2 N/μm
空载谐振频率:
X2000/Y2000 Hz
闭/ 开环空载阶跃时间:
1.5/0.7 ms
最大承载:
1kg
静电容量:
1.6μF/轴
材质:
钢、铝
重量:
180g
配套压电控制器
E70.D3S是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的3通道压电陶瓷控制器。
该控制器采用专用运放电路保证了高压大电流的输出能力,通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精准度与稳定性,可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。
采用DC24V 供电、集成数字与模拟控制功能、RS-232/RS-422/USB 通讯可选、集成式PZT&sensor 迷你接口便于连接,外部可设定控制功能,操作简单便捷。
技术参数
型号:
E70.D3S-I2
功能:
数字与模拟集成式控制器
通道数:
3
模拟输入范围:
0-10V
输出电压范围:
0-120V/150V第三路恒压
峰值电流:
1.1A/通道
平均电流:
70mA/通道
放大器带宽:
10kHz/通道
输出电压纹波:
5mV(2.2μF)
PZT连接器:
ECG.1B.314(LEMO)
控制输入连接器:
SMB
传感器类型:
SGS
伺服特性:
P.I+ 低通+ 陷波
传感输出纹波:
10mV
通信接口:
RS-232/422、USB
工作温度范围:
0-50℃
尺 寸:
168.5×134×45.5mm
重 量:
1.2kg
供电电压:
24V DC1.5A(36W)
控制方式:
模拟/ 数字信号控制
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