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小体积一维压电旋转台
更新时间:2020-03-17 10:37:22点击次数:1626次
P21压电旋转台为一维θz旋转台,产品体积小巧,旋转角度可达到7.5mrad,承载能力达0.1kg,可带动镜片做精密旋转运动。
产品运动示意图
小体积、高分辨率、高精度
P21
一维旋转台采用机构放大设计原理,
可以实现
7.5mrad的旋转, 体积小巧、结构紧凑, 尺寸仅为60×60×15mm,非常易于集成到精密旋转设备中。
采用压电陶瓷作为驱动元件,台体采用柔性铰链机构,无摩擦、无回差,可以实现0.2μrad的分辨率。
内置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精度,在光路精密角度调整中起着非常重要的作用。
典型应用
01
光
路
调
整
02
干
涉
03
光
束
扫
描
04
计
量
频率负载曲线
应用实例
P21系列压电旋转台可以与芯明天任意平台或倾斜台配合使用,组成多轴精密压电定位台,用于多维
精密直线与旋转定位操作。
技术参数
型号:
P21
运动自由度:θz
旋转角度
@120V
:
6mrad(~1240”)
旋转角度
@150V:7.5mrad(~1500”)
闭环传感器:
SGS
闭
/开
环分辨率:
0.4(~0.085”)/0.2(~0.04”)
闭环线性度:0.5%F.S.
闭环重复定位精度:0.2%F.S.
推/拉力:10/5N
运动方向刚度:1N/μm
空载谐振频率:1.1kHz
闭
/ 开环空载阶跃
时间:
30/1.5ms
承载能力:
0.1kg
静电容量:1.8μF
材质:铝
重量:105g
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