P54系列是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大透空孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
特点
θx,θy轴偏摆
应用实例
闭环传感精度高
负载大镜片
频率负载曲线
典型应用
开环曲线
阶跃时间
重复定位精度
推荐控制器
技术参数