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新品介绍|XD107系列压电扫描台 - 三维纳米运动

更新时间：2022-07-20 15:40:29点击次数：2112次
XD107系列压电扫描台是一款定制设计的三维运动的压电平台，具有特殊的负载安装孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，适用于样品显微成像/扫描、微纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用。

XD107系列压电扫描台

XD107系列压电扫描台内部采用机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷、无摩擦柔性铰链导向机构，可实现XY向100μm/轴、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性都可达nm级，定位响应时间也可达ms级。
该压电扫描台可根据应用需求选配闭环传感器，以获取更高的精度。



产品特点

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•XYZ三维运动
•行程可达100μm
•承载能力0.4kg
•中心通孔50×50mm


产品应用

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•扫描显微镜
•掩模/晶圆定位
•干涉、度量衡学
•生物技术
•微操作


引线连接器

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XD107系列压电扫描台的连接器共有2组，每组有3个，一组用于电压驱动信号的传输，一组用于传感反馈信号的传输。连接器的配置主要取决于所选配的压电控制器的连接器类型。XD107系列的连接器是为了匹配芯明天E00/E01系列压电控制器（下方右图），若更换其他压电控制器，可更换为其他相应的连接器类型。

图片XD107系列压电扫描台和E01压电控制器


电压位移曲线

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下图中为XD107系列压电扫描台的XY向的驱动电压与位移曲线。

图片XD107系列压电扫描台的XY向的驱动电压与位移曲线



线性度曲线

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线性度曲线



技术参数

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型号：XD107.XY100Z20S
运动方向：X、Y、Z
标称行程范围(0~120V)：XY80/Z64μm
行程范围(0~150V)：XY100/Z80μm
传感器类型：SGS
闭环分辨率：3nm
闭环线性度：0.1%F.S.
闭环重复定位精度：0.02%F.S.
俯仰/偏航/滚动：≤30μrad
空载谐振频率：XY220/Z160Hz
带载400g谐振频率：XY110/Z80Hz
承载能力：0.4kg
静电容量：XY3.6/Z1.8μF
材质：钢、铝
通孔尺寸：50×50mm
外形尺寸：94×94×24.5mm
重量：420g


应用举例

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三维样品扫描和光刻


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