
在精密制造和科研领域,每一次技术革新都为行业发展注入新的活力。作为深耕压电纳米定位系统20年的企业,芯明天的压电马达位移台凭借毫米级行程、纳米级精准控制,早已成为诸多精密场景的得力助手。其应用广泛覆盖精密制造与前沿科研两大核心领域:在制造端,无论是半导体芯片的微纳米级对准,还是微纳器件的高精度定位;在科研端,不管是光学系统的纳米聚焦与扫描调控,亦或是超分辨成像实验中样品的细微移动控制,都能看到它稳定工作的身影。
N55.Z10系列直线压电马达位移台,则是我们在精准基础上,向更大负载能力、更大行程、更灵活集成、更智能控制发起的创新突破。它不是对传统产品的替代,而是为不同应用场景提供了新选项。

一、新品亮点:结构与运动转化
N55.Z10系列直线压电马达位移台采用“上层平台-梯形楔块-下层基座”三部分结构,通过内部压电驱动梯形滑块的水平运动与斜面配合,转化为上层平台的Z向位移。


当压电陶瓷驱动中间梯形滑块沿水平方向左右移动时,由于梯形滑块的斜面与上下结构的配合,滑块位置的改变会使上层平台与下层基座之间的垂直距离发生变化,梯形滑块左右移动时,利用斜面的高度差转化,使得上层平台实现Z轴方向的位移。这种设计通过水平方向的运动转化为垂直方向的位移,从而实现了Z向更大的负载能力,同时保证高精度位移控制。利用梯形结构的几何特性分散负载压力,提升整体刚性,增强负载能力。

二、核心性能提升:拓展行程、提升负载
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大行程与高精度兼顾
N55.Z10系列直线压电马达位移台的结构特点在一定程度上拓展了行程,如图a所示,如果将这时N55.Z10的状态设为0位状态,Z向位移为0;如图b所示,梯形滑块移动到X轴负向最小值时,产品的Z向位移达到Z向负值最小,位移为-5.5mm;如图c所示,梯形滑块移动到X轴正向最大值时,产品的Z向位移达到Z向正值最大,位移为+5.5mm。假设以0位状态为基准,在加载情况下,N55.Z10可以做到Z轴双向灵活总位移11mm。


02
负载能力增强
梯形结构的斜面设计可通过力的分解将水平驱动力转化为更大的Z向支撑力,N55.Z10系列直线压电马达位移台的Z向负载能力可达1kg以上。


03
配备光栅传感器,更高定位精度
N55.Z10系列直线压电马达位移台闭环版本内置高精度光栅传感器,它能实时捕捉平台的细微位移变化。在Z向11mm的整体行程范围,配合压电驱动系统可实现0.2μm的定位精度,可完美适配光子器件封装、纳米压印等对超精密定位有极高要求的科研与高端制造场景。

三、场景适配:多领域兼容
抗干扰与长期稳定性
1
N55.Z10系列直线压电马达位移台利用粘滑原理和一体化梯形结构消除或降低传动间隙,减少机械磨损,连续工作无波动误差,长期漂移小,适合半导体制造、显微对准等对稳定性要求严苛的场景。
环境与场景适配性
2
N55.Z10系列直线压电马达位移台基于压电效应驱动,可在宽温度范围、真空环境下稳定工作,抗强电磁干扰,适配生物医学、半导体工业等复杂场景。

四、技术参数
N55.Z10系列直线压电马达位移台的创新设计,实现了“大行程、高精度、高负载、抗干扰”的多维性能提升,为微纳加工、光学检测、半导体制造等高端领域提供了更可靠的精密运动控制方案。
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型号 |
N55.Z10E |
|---|---|
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运动自由度 |
Z |
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传感器类型 |
光栅传感器 |
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标称行程范围 |
11或±5.5mm |
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速度上限 |
0.5mm/s |
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分辨率 |
5nm |
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重复定位精度 |
0.2μm |
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承载能力 |
1kg |
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工作温度 |
0~50℃ |
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材质 |
铝、不锈钢 |
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重量 |
275g |
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外形尺寸 |
60mm×52mm×37mm |
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推荐控制器 |
E53.D1E-J |

五、推荐控制器
E53.D1E-J小体积压电马达控制器专为驱动压电马达而设计,适用于驱动N55.Z10系列压电马达位移台,它是单通道闭环压电控制器,采用数字控制,24VDC供电,静态功耗小于5W,通信接口为TYPE-C、RS-422、RS-232。操作便捷,尺寸仅105×103×30.1mm^3,外观体积小巧,结构紧凑,易于集成。


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