位移可达±10μm
承载能力1kg
可定制
真空版本可选
显微成像
表面检测
图像稳定
干涉/计量
频率负载曲线
高动态 高分辨率
动态性能好
型号:N62.XY20
运动自由度:XY
行程范围(0~120V):±8μm/轴
行程范围(0~150V):±10μm/轴
闭环传感器类型:SGS
通孔尺寸:Ø26mm
闭/开环分辨率:1/0.5nm
闭环线性度:0.3%F.S.
闭环重复定位精度:0.1%F.S.
俯仰/偏航/滚动:<10μrad
推/拉力:44/44N
运动方向刚度:X2.2/Y2.2N/μm
空载谐振频率:X2000/Y2000Hz
闭/开环空载阶跃时间:1.5/0.7ms
承载能力:1kg
静电容量:1.6μF/轴
材质:钢、铝
重量:180g