特点
•位移可达105μm
•承载能力1.5kg
•闭环重复定位精度高
•开环、闭环可选
•真空版本可选
频率负载曲线
刚度大、谐振频率高、负载能力大
应用实例
技术参数
型号:P16.XY100
运动自由度:X、Y
行程范围(0~120V):80μm或±40μm/轴
行程范围(0~150V):100μm/轴或±50μm/轴
闭环传感器:SGS
通孔尺寸:Ø20mm
闭/开环分辨率:10/5nm
闭环线性度:1%F.S.
闭环重复定位精度:0.5%F.S.
俯仰/偏航/滚动:<25μrad
推/拉力:30/30N
运动方向刚度:0.5N/μm
空载谐振频率:600Hz
闭/开环空载阶跃时间:10/1.6ms
承载能力:1.5kg
静电容量:3.6μF/轴
材质:钢、铝
重量:220g