一维Z向小体积直线压电平台
更新时间：2021-04-25 11:38:23点击次数：2512次
产品特点
• 一维Z向运动
• 位移可达100μm
• 体积小巧
• 毫秒级响应时间
• 真空版本可选
闭环版本定位精度高 响应速度快
宏微复合机构
技术参数
型号：P11.Z100
运动自由度：Z
行程范围（0~120V）：80μm
行程范围（0~150V）：100μm
闭环传感器类型：SGS
闭/开环分辨：7/4nm
闭环线性度：0.05%F.S.
闭环重复定位精度：0.02%F.S.
俯仰/偏航/滚动：<10μrad
推/拉力：30/10N
运动方向刚度：0.3N/μm
空载谐振频率：0.3kHz
闭/开环空载阶跃时间：10/0.8ms
承载能力：0.8kg
静电容量：1.8μF
材质：钢、铝
重量：100g
