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P60.Z500直驱压电平移台，是一维Z向运动压电定位台，采用压电陶瓷放大机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
产品特点
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位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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| 技术参数 | |||
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型号 |
P60.Z500S |
P60.Z500K |
单位 |
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运动方向 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0 ~120 V） |
400 |
400 |
µm±10% |
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行程范围（0~150V） |
500 |
500 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
13.5 |
4 |
nm |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
290 |
290 |
Hz±20% |
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承载能力 |
2 |
2 |
kg |
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静电容量 |
28.8 |
28.8 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
0.65 |
0.65 |
kg±20% |
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真空度 |
- |
- |
mbar |
应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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