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P18.XZ200二维XZ轴压电扫描台，内置高性能压电陶瓷作为驱动元件，采用SGS传感器闭环，实现精密高速定位运动，产品结构紧凑，易于集成，具有较高的重复定位精度和动态定位性能。
产品特点
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产品运动示意图 
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台体采用放大机构设计，运动行程范围大 
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大负载、频率响、高分辨率 P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，P18.XY200可以实现250μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版本获得优异的线性度与重复定位精度。 P18.XY200采用独特的结构设计，具有大刚度、大出力、大承载等特点，承载达2kg，空载谐振频率达500Hz，配套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms，是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用。 |
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平稳和准确的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。 
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应用实例-纳米光刻 在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。 
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位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P18.XZ200S |
P18.XZ200K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X、Z |
X、Z |
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运动和定位 |
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标称行程范围（0~120V） |
160 |
160 |
µm±10% |
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行程范围（-20~150V） |
200 |
200 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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通孔尺寸 |
Ø35 |
Ø35 |
mm |
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分辨率 |
8 |
5 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.15 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<20 |
<20 |
µrad |
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运动方向推/拉力 |
30/10 |
30/10 |
N |
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运动方向刚度 |
X0.3/Z0.3 |
X0.3/Z0.3 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
X200/Z300 |
X200/Z300 |
Hz±20% |
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空载阶跃时间 |
50 |
5 |
ms±20% |
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空载工作频率* |
10%行程 |
50 |
50 |
Hz±20% |
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100%行程 |
15 |
15 |
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承载能力 |
1 |
1 |
Kg |
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静电容量 |
11 |
11 |
μF±20% |
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材质 |
铝 |
铝 |
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重量 |
550 |
550 |
g±5% |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
