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N11 系列直线压电马达
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N11 系列直线压电马达采用粘滑原理,将 PZT 压电陶瓷的微运动转换为毫米级长行程。它的体积非常小巧,仅 15×15×7mm^3。而它的行程却可高达 3.6mm,非常适用于受限空间中毫米范围行程的调整应用。


产品特点


 行程可达 3.6mm

 一至三维可选

 体积小、重量轻

 速度可达 2mm/s

 断电自锁





真空版本


产品应用


 超分辨成像样品移动

 微纳装备及制造

 扫描电镜(SEM)样品操纵

 纳米聚焦与扫描

 集成电路制造与检测

 显微及纳米 CT

 大范围电子束直写(EBL)

 高真空样品精度对准及调姿

    技术参数

型号

N11.X3.5K

单位

运动自由度

X

 

标称行程范围

3.6 或 ±1.8

mm

速度上限

2

mm/s

开环分辨率

20

nm

出力

0.5

 N

保持力(断电自锁)

1.5

N

承载能力(水平方向)

0.3

kg

承载能力(竖直方向)

0.03

kg

轴向刚度

1

N/μm±10%

侧向刚度

2

N/μm±10%

工作温度

0~50

电缆长度

1.5

m±10%

材质

铝,不锈钢


质量(不包含电缆)

6

g±10%

推荐控制器

E53.C1K-J


    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
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Auto CAD PDF
Step

N11.X3.5K

N11.XYZ3.5K

参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


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