N11 系列直线压电马达采用粘滑原理,将 PZT 压电陶瓷的微运动转换为毫米级长行程。它的体积非常小巧,仅 15×15×7mm^3。而它的行程却可高达 3.6mm,非常适用于受限空间中毫米范围行程的调整应用。
产品特点
行程可达 3.6mm |
一至三维可选 |
体积小、重量轻 |
速度可达 2mm/s |
断电自锁 |
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真空版本 |
产品应用
超分辨成像样品移动 |
微纳装备及制造 |
扫描电镜(SEM)样品操纵 |
纳米聚焦与扫描 |
集成电路制造与检测 |
显微及纳米 CT |
大范围电子束直写(EBL) |
高真空样品精度对准及调姿 |
技术参数 | ||
型号 |
N11.X3.5K |
单位 |
运动自由度 |
X |
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标称行程范围 |
3.6 或 ±1.8 |
mm |
速度上限 |
2 |
mm/s |
开环分辨率 |
20 |
nm |
出力 |
0.5 |
N |
保持力(断电自锁) |
1.5 |
N |
承载能力(水平方向) |
0.3 |
kg |
承载能力(竖直方向) |
0.03 |
kg |
轴向刚度 |
1 |
N/μm±10% |
侧向刚度 |
2 |
N/μm±10% |
工作温度 |
0~50 |
℃ |
电缆长度 |
1.5 |
m±10% |
材质 |
铝,不锈钢 |
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质量(不包含电缆) |
6 |
g±10% |
推荐控制器 |
E53.C1K-J |
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