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F30.P3N3E宏微压电复合台由芯明天微运动控制P63.XYZ7S高分辨率压电纳米定位台和宏动控制三维N56.XYZ10E压电马达位移台组合而成。宏动行程可达10mm/轴，微动部分行程可达8.5μm/轴，整体结构可实现毫米级行程范围，同时实现亚纳米级分辨率，适用于大行程、高精度应用。
产品特点
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| 技术参数 | ||
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型号 |
F30.P3N3E |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
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行程范围（宏动+微动） |
10+8.5 |
mm+μm |
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壳体材料 |
铝 |
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承载能力 |
100 |
g |
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宏动部分 |
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型号 |
N56.XYZ10E |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
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行程 |
10或±5/轴 |
mm±10% |
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传感器类型 |
光栅传感器 |
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分辨率 |
6 |
nm±20% |
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速度上限 |
4 |
mm/s±20% |
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线性度 |
2.13 |
μm |
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重复度 |
0.48 |
μm |
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配套控制器 |
E53.D1E-J |
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微动部分 |
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型号 |
P63.XYZ7S |
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| 运动自由度 |
X、Y、Z |
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| 驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
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行程 |
8.5/轴 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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| 分辨率 | 0.2 | nm |
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闭环线性度 |
0.4 |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.2 |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
＜15 |
μrad |
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静电容量 |
0.8/轴 |
μF±20% |
