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F21.N2E-B1Z是一款真空二维运动压电马达位移台，可进行X向直线运动和θx偏摆运动。X轴直线行程可达10mm，θx偏摆行程可达10°。可负载600g样品进行运动控制，外观结构设计紧凑，体积小巧，适用于各种高精度运动控制应用。
产品特点
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产品应用
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 光纤对准 |
光学测试系统 |
生物医疗 |
超分辨率成像 |
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配套控制器  E53.D2E-H |
| 技术参数 | ||
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型号 |
F21.N2E-B1Z |
单位 |
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运动自由度 |
X、θx |
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| 传感器 | 光栅传感器 |
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X行程范围 |
10 或 ±5 |
mm |
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θx行程范围 |
10或±5 | ° |
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X速度上限 |
3 |
mm/s±20% |
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θx速度上限 |
3 | °/s±20% |
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X分辨率 |
5 |
nm±20% |
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θx分辨率 |
1 |
μrad±20% |
| X线性度 | 0.8 |
μm±20% |
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θx线性度 |
0.01 |
°±20% |
| X重复定位精度 | 0.1 |
μm±20% |
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θx重复定位精度 |
0.001 |
°±20% |
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承载能力 |
600 |
g |
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工作温度范围 |
0~40 |
℃ |
| 重量 | 200（不含线和连接器） | g±5% |
| 台体材料 | 钢、铝 |
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出线长 |
0.7 |
m±10mm |
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连接器 |
DB15公头×2 |
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