P76.Z一维Z向压电物镜驱动器 200μm当前位置:产品首页 >> 压电物镜定位器>>P76.Z一维Z向压电物镜驱动器 200μm
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P76 系列压电物镜定位器为大负载 Z 轴运动压电物 镜定位器,负载能力可达 500g,Z 轴直线运动范围可达 200μm,采用柔性铰链设计机构,无摩擦,直线性好,闭 环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计,可适配多种型 号的显微镜。


产品特点


 行程可达 200μm

 承载能力 500g

 毫秒级响应时间

 闭环重复定位精度高

 聚焦稳定性好

 

 

 


产品组成及运动方向

驱动方式

可装配多种品牌、尺寸的物镜

频率负载曲线

曲线图

响应时间可调节

配不同控制与承载响应时间可调。

位移与电压曲线(P76.Z100 带载 500g)

线性度曲线

批量订单,快速供货


产品应用


 三维成像

 干涉 / 计量

 自动聚焦系统

 共焦显微

 晶圆切割

 半导体测试

 

 


    技术参数

型号

尾缀S-闭环
尾缀K-开环

P76.Z50S

P76.Z50K

P76.Z80S

P76.Z80K

P76.Z100S

P76.Z100K

P76.Z70S

P76.Z70K

P76.Z200S

P76.Z200K

单位

运动自由度

Z

Z

Z

Z

Z

驱动控制

1路驱动,1路传感

1路驱动,1路传感

1路驱动,1路传感

1路驱动,1路传感

1路驱动,1路传感


标称行程范围(0~120V)

40

64

80

60

160

μm±10%

行程范围(0~150V)

50

80

100

75

200

μm±10%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS

分辨率

1.5/0.5

3/1

3/1

2/1

5.5/2

nm

闭环线性度

0.03/-

0.03/-

0.03/-

0.03/-

0.03/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

%F.S.

推/拉力

35/10

-

70/10

180/16

-

N

运动方向刚度

0.8

-

0.8

3

-

N/μm±20%

空载谐振频率

800

1700

800

1800

900

Hz±20%

闭环工作频率(-3dB)

-

-

160(空载)

-

-

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

5/2

15@24μm、900g/-

5/2

1.6/1

10/4

ms±20%

承载能力

0.5

0.9

0.5

0.5

0.5

kg

静电容量

3.2

14.4

7.2

7.2

28.8

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

、铝

铝、钢

重量

430

765

500

520

740

g±5%

注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。


实测工作频率(仅供参考)

    P76.Z100S配E52.B1S-I3控制器(300mA)

输出位移

工作频率上限

50μm

60Hz

80μm

35Hz

100μm

25Hz

注:以上数据在室温、负载250g、位移不衰减、正弦波驱动的情况下实测数值。仅供参考。

    P76.Z70S搭配E52.B1S压电控制器(平均电流237mA)

输出位移

工作频率上限

0.5μm

300Hz

1μm

250Hz

2μm

250Hz

5μm

250Hz

10μm

200Hz

20μm

150Hz

50μm

90Hz

60μm

70Hz

70μm

60Hz

注:以上数据是在室温、负载250g、位移不衰减的情况下实测数值。仅供参考。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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P76.Z50

P76.Z80

P76.Z100

P76.Z70

P76.Z200

Step




参数表/Specs Sheet

使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

超分辨率显微成像

显微镜

提升显微成像精度

全自动细胞成像系统


笼式结构

超分辨率显微成像

显微镜

提升显微成像精度

全自动细胞成像系统



模块化压电控制器

1路输出
上位机通信、模拟、旋钮
开环/闭环
平均功率35W/7W


压电控制器

3路输出
模拟、上位机通信
开环/闭环
平均电流70mA


超小体积压电控制器

1路输出
模拟、上位机通信
开环/闭环
平均功率10W


工业式压电控制器

1路输出
模拟输入
开环/闭环
平均功率50W


压电控制器

3路输出
模拟控制
闭环
平均电流25mA


工业式压电控制器

1路输出
模拟、旋钮、I/O控制
开环/闭环
平均功率6W

陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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