P72.Z一维Z向压电物镜驱动器 100μm当前位置:产品首页 >> 压电物镜定位器>>P72.Z一维Z向压电物镜驱动器 100μm
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P72系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向机构设计,物镜补偿量较小,具有高聚焦稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。


P72.Z100系列为小体积高动态压电物镜定位器,Z轴行程100μm,优异的平行四边形设计原理,无摩擦、无空回,响应速度较快,采用分离式螺纹适配器,可适配多种型号的显微镜。P72物镜定位器与物镜之间通过适配器连接,将物镜快速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选,如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于与显微镜集成安装。


产品特点


 Z向运动,行程100μm

 承载0.2kg

 毫秒级响应时间

 闭环重复定位精度高

 开环、闭环可选

 

 

 


产品组成及运动方向

产品运动示意图

可装配多种品牌、尺寸的物镜

体积小巧、易于集成、高动态、直线性好率

P72 压电物镜定位器体积小巧、结构紧凑,可实现行程100μm 的位移。多种螺纹牙连接器可选,易于与其他光学显微镜等集成。
台体采用柔性铰链机构,无摩擦且具有极高的分辨率。由于其空载谐振频率可达 350Hz,且可带载 200g 负载做高速精密运动,在光学扫描、共焦显微等领域得到广泛的应用。
可选择闭环版本,实现超高的定位精度。

应用驱动方式举例

带载阶跃时间

响应时间可调节

线性度

频率负载曲线

电压与位移曲线


产品应用


 三维成像

 干涉 / 计量

 表面结构分析

 共焦显微

 生物科技

 半导体测试

 


    技术参数

型号

尾缀S-闭环

P72.Z100S

P72.Z100K

单位

尾缀K-开环

  运动自由度

Z

Z

 

  驱动控制

1路驱动,1路传感 1路驱动

  标称行程范围(0~120V)

80

80

µm±10%

  行程范围(0~150V)

100

100

µm±10%

  传感器类型

SGS

-

 

  分辨率

3

1

nm,typ.

  闭环线性度

0.1

-

%F.S.

  闭环重复定位精度

0.05

-

%F.S.

  机械性能

  运动方向推/拉力

110/15

110/15

N

  运动方向刚度

1.4

1.4

N/µm±20%

  空载谐振频率

0.35

0.35

kHz±20%

  空载阶跃时间

10

3

ms±20%

 闭环工作频率(-3dB)

70(负载100g)

-

Hz±20%

  承载能力

0.2

0.2

Kg

  驱动性能

  静电容量

3.6

3.6

μF±20%

  其他

  工作温度范围**

-20~80

-20~80

°C

  材质

 

  外形尺寸(长×宽×高)

48×40×22

48×40×22

mm

  通光孔直径***

15

15

mm

  重量

150

150

g±5%

  出线长

1.5

1.5

m±10mm

  传感/电压连接器****

LEMO

LEMO


    ** 可定制低温版本及高真空版本。 

    ***取决于显微镜转接件。 

    ****连接器可定制。 

    注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 

    注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,MAX.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    P72.Z100尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    P72.Z100尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

超分辨率显微成像

显微镜

提升显微成像精度

全自动细胞成像系统


笼式结构

超分辨率显微成像

显微镜

提升显微成像精度

全自动细胞成像系统


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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