产品特点
行程可达20μm |
承载可达25kg |
通孔直径Ø155mm |
可正立/侧卧/倒置使用 |
真空版本可选 |
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技术参数 | |||
型号 |
P77.S/K154 |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
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标称行程范围(0~120V) |
16 |
μm±10% |
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行程范围(0~150V) |
20 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
Φ155 |
mm |
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分辨率 |
0.5/0.2 |
nm |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
μrad |
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推/拉力 |
50/30 |
N |
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空载谐振频率 |
1300 |
Hz±20% |
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空载阶跃时间 |
3.5/2 |
ms±20% |
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承载能力 |
正立 |
25 |
kg |
卧式 |
20 |
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倒置 |
20 |
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静电容量 |
14.4 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
3020 |
g±5% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
℃ |
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连接器 |
LEMO |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |