P78系列压电扫描台为一维Z轴运动平台,压电平台中心方形通孔尺寸为64×64mm,放大机构内置高性能压电陶瓷,可以实现Z轴187.5μm或262.5μm的位移行程,优异的柔性铰链导向机构具有高的定位精度,适用于需要大行程精密定位的应用领域。
P78.Z300为一维Z轴压电扫描台,中心具有通孔,扫描范围可达262.5μm,闭环扫描台精度更高,直线运动无偏航。
产品特点
一维Z向运动 |
行程可达262.5μm |
承载可达0.5kg |
通孔直径:64×64mm |
亚纳米级分辨率 |
开环、闭环可选 |
闭环重复定位精度高 |
真空版本可选 |
外观形状 |
产品运动示意图 |
台体采用机构放大式驱动设计,行程范围大 |
大通孔、大位移、高分辨、高精度
P78.Z300压电扫描台,采用机构放大设计原理,可以实现Z轴262.5μm的位移行程。优异的柔性铰链导向机构 采用有限元分析进行优化实现纳米级的分辨率、毫秒级的响应 时间。 |
闭环重复定位精度高 P78.Z300压电扫描台满幅值262.5μm的闭环重复定位精度为 0.05%。 |
产品应用
AFM |
移相器 |
精密定位 |
光学捕获 |
扫描显微 |
半导体测试 |
表面检测 |
光学计量 |
光学显微成像 |
SPM扫描显微 |
掩模/晶圆定位 |
生物技术 |
P78系列产品
P78系列压电扫描台包含187.5μm与262.5μm两种运动行程的种规格型号。
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技术参数 | ||||
型号 |
尾缀S-闭环 |
P78.Z300S |
P78.Z300K |
单位 |
尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围(0~120V) |
210 |
210 |
µm±10% |
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行程范围(0~150V) |
262.5 |
262.5 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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通孔尺寸 |
64×64 |
64×64 |
mm |
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分辨率 |
7 |
2.5 |
nm,typ. |
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闭环线性度 |
0.15 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<30 |
<30 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
30/5 |
30/5 |
N |
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运动方向刚度 |
0.15 |
0.15 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
200 |
200 |
Hz±20% |
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空载阶跃时间 |
50 |
6.4 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.5 |
0.5 |
Kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
14.4 |
14.4 |
μF±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
铝 |
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外形尺寸(长×宽×高) |
100×100×30 |
100×100×30 |
mm |
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重量 |
340 |
340 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
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应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |