P12.Z为一维Z轴压电扫描台,结构紧凑,外形尺寸60×60×24mm或70x70x24mm(对应不同中心孔尺寸),行程可达300μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率,毫秒级的响应时间,台体中心中孔尺寸为Φ25mm或Φ35mm,适合于显微及扫描中的样品定位。
产品特点
一维Z向运动 |
行程100/200/300μm可选 |
承载0.8kg |
通孔尺寸:Ø25mm或Ø35mm可选 |
闭环重复定位精度高 |
响应速度快 |
真空版本可选 |
|
产品实物图 |
产品运动示意图 |
台体采用放大机构设计,运动行程范围大 |
小体积、大位移、中心通孔
P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理,较小的体积外形,尺寸仅为60×60×24mm,P12.XYZ可以实现100μm/轴的扫描范围,中心通孔可选25mm或35mm,35mm通孔对应台体外形尺寸为70×70×24mm。 |
平稳和准确的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。 |
产品应用
图像处理与稳定 |
精密定位 |
光学捕获 |
扫描显微 |
干涉/计量 |
半导体测量 |
表面检测 |
光学计量 |
光学显微成像 |
SPM扫描显微镜 |
掩模/晶圆定位 |
表面结构分析 |
相关产品
P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式,可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时,P12具有两种通孔直径可供选择,分别为25mm、35mm。
技术参数 | |||||
型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.Z100S |
P12.Z200S |
P12.Z300S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||||
运动自由度 |
Z |
Z |
Z |
|
|
驱动控制 |
1路驱动,1路传感 | 1路驱动,1路传感 | 1路驱动,1路传感 |
|
|
标称行程范围(0~120V) |
80 |
160 |
240 |
µm±10% |
|
行程范围(0~150V) |
100 |
200 |
300 |
µm±10% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø25(Ø35可选) |
Ø25(Ø35可选) |
Ø25(Ø35可选) |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
3/1 |
5.5/2 |
8/2.5 |
nm,typ. |
|
闭环线性度 |
0.05/- |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.02/- |
0.05/- |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<15 |
<15 |
µrad |
|
机械性能 |
|||||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
30/10 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
0.2 |
0.1 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.22 |
0.15 |
0.1 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
10/0.8 |
15/1.6 |
30/2.4 |
ms±20% |
|
闭环工作频率(-3dB) |
- |
- |
- |
Hz±20% |
|
承载能力 |
0.8 |
0.5 |
0.4 |
Kg |
|
静电容量 |
1.8 |
3.6 |
5.4 |
μF±20% |
|
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
|
重量 |
140 |
200 |
260 |
g±5% |
*若此工作频率已接近或超过谐振频率,建议在小于谐振频率以下使用,若在此频率下工作,输入电压要足够小,请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
|
|
|
应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |
|
|
|
|
陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
|
|
|
|
钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
|
|
|
|
粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
|
|
|
|
P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
|
|
|
|
BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
|
|
|
|
BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |