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P15.XY100S/K-B1 压电纳米定位台为二维 XY 向运动压 电平台，具有超薄的外形，可进行每轴 100μm 范围内的纳米级 位置调整，可选配应变式闭环传感器。
产品特点
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线性度曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
P15.XY100S-B1 |
P15.XY100K-B1 |
单位 |
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运动自由度 |
XY |
XY |
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驱动控制 |
2路驱动，2路传感 |
2路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
80/轴 |
80/轴 |
μm±10% |
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行程范围（0~150V） |
100/轴 |
100/轴 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环分辨率 |
3 |
1 |
nm |
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闭环线性度 |
0.15 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/滚动/偏航 |
≤10 |
≤10 |
μrad |
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空载谐振频率 |
490 |
490 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
50 |
20 |
ms±20% |
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承载能力 |
500 |
500 |
g |
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静电容量 |
14.5 |
14.5 |
μF±10% |
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台体材料 |
铝 |
铝 |
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重量 |
730 |
730 |
g±5% |
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电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。最大驱动电压可在-20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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