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P15.XY100S/K-C 压电纳米定位台是一款二维 XY 向运动的 压电纳米定位台，每轴的行程可达 100 微米，中心具有大型通孔， 非常适于透射光应用。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
P15.XY100S-C |
P15.XY100K-C |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y |
X、Y |
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驱动控制 |
2路驱动 |
2路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
80/轴 |
80/轴 |
μm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
100/轴 |
100/轴 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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通孔尺寸 |
66×66 |
66×66 |
mm |
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外形尺寸 |
150×150×30 |
150×150×30 |
mm |
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闭 / 开环分辨率 |
3.5 |
1 |
nm |
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闭环线性度 |
0.15 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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俯仰 / 偏航 / 滚动 |
<30 |
<30 |
μrad |
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运动方向刚度 |
0.6 |
0.6 |
N/μm±20% |
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推 / 拉力 |
60/10 |
60/10 |
N |
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空载谐振频率 |
200 |
200 |
Hz±20% |
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带载谐振频率 |
45（@6kg） |
45（@6kg） |
Hz±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
6 |
6 |
kg |
| 立式安装 | 0.5 | 0.5 | ||
| 倒置安装 | 6 | 6 | ||
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静电容量 |
10.8/ 轴 |
10.8/ 轴 |
μF±20% |
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台体材料 |
铝合金 |
铝合金 |
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重量（不含线） |
<1.1 |
<1.1 |
kg±5% |
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注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。最大驱动电压可在-20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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