P17.XY200 系列压电扫描台（ 187.5μm 中孔60mm×60mm当前位置：产品首页 >> 二维中空式压电扫描台>>P17.XY200 系列压电扫描台（ 187.5μm 中孔60mm×60mm

产品介绍
应用
价格及周期
意见反馈

P17.XY200系列压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现XY轴187.5μm的扫描范围，通光孔为60×60mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。

P17.XY200二维XY轴压电扫描台，行程可达187.5μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间，适合于显微及扫描中的样品定位。

产品特点

二维XY向运动	行程187.5μm/轴	承载1kg	台体中心方形通孔，尺寸为60×60mm
闭环重复定位精度高	响应速度快	真空版本可选

产品实物图

产品运动示意图

台体采用放大机构设计，运动行程范围大

大通孔、大行程、稳定性好、响应速度快

P17.XY200系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度扫描台，可以实现 XY轴187.5×187.5μm的位移行程，优异的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快，响应时间可达 5ms。
闭环版本采用高精度的传感反馈，与E00/E01 系列闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。台体中心60×60mm大通孔，适合工业自动化中的晶圆定位或微操作等应用。

平稳和准确的扫描圆形驱动

精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。

频率负载曲线

应用实例-晶圆定位

P17.XY200 系列压电扫描台适用于需要大行程高精度的应用，该产品已经成功应用于半导体测试、表面结构分析、显微成像等领域。与芯明天压电物镜定位器配套用于晶圆定位，可带动晶圆做XY轴187.5μm行程范围的纳米级精密定位。

产品应用

图像处理与稳定	精密定位	光学捕获	扫描显微
干涉/计量	半导体测量	表面检测	光学计量
光学显微成像	SPM扫描显微镜	掩模/晶圆定位	表面结构分析

技术参数
型号	尾缀S-闭环	P17.XY200S	P17.XY200K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		X、Y	X、Y
驱动控制		2路驱动，2路传感	2路驱动
标称行程范围（0~120V）		150/轴	150/轴	µm/轴±10%
行程范围（0~150V）		187.5/轴	187.5/轴	µm/轴10%
传感器类型		SGS	-
通孔尺寸		60×60	60×60	mm
分辨率		5	1.5	nm，typ.
闭环线性度		0.1	-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.05	-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<15	<15	µrad
机械性能
运动方向推/拉力		40/15	40/15	N
运动方向刚度		X0.2/Y0.2	X0.2/Y0.2	N/µm±20%
空载谐振频率		X0.24/Y0.4	X0.24/Y0.4	kHz±20%
空载阶跃时间		30	5	ms±20%
闭环工作频率（-3dB）		25（负载28g）	-	Hz±20%
承载能力		1	1	Kg
驱动性能
静电容量		3.6	3.6	μF/轴±20%
其他
工作温度范围**		-20~80	-20~80	°C
材质		钢、铝	钢、铝
外形尺寸（长×宽×高）		140×140×25	140×140×25	mm
重量		660	660	g±5%
出线长		1.5	1.5	m±10mm
传感/电压连接器***		LEMO	LEMO

** 可定制低温版本及高真空版本。

***连接器可定制。

注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。

注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。

尺寸图 (点击图片可放大查看)

尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual

应用案例

笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻