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P13A 系 列 压 电 纳 米 定 位 台 是 专 为 极 低 温、 强 磁 场 环境而研发设计，采用低温压电驱动，外壳采用轻型材 料。P13A 为 XY 二维扫描运动，它的体积小巧，尺寸仅 33×33×14.6mm，中心具有 10×10mm 通孔。所有组件均 采用低温强磁兼容版本，以保证其在低温强磁下的性能。
产品特点
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位移与电压曲线 
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| 技术参数 | |||||||
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型号 |
P13A.XY90K |
P13A.XYZ80K |
P13A.XY180K |
单位 |
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使用温度 |
常温 |
4K |
常温 |
4K |
常温 |
4K |
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运动方向 |
X、Y |
X、Y |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
X、Y |
X、Y |
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驱动控制 |
2路驱动 |
2路驱动 |
3路驱动 |
3路驱动 |
2路驱动 |
2路驱动 |
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驱动源 |
压电堆栈 |
压电堆栈 |
压电堆栈 |
压电堆栈 |
压电堆栈 |
压电堆栈 |
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标称行程范围 |
90 (0~60V) |
30(0~150V) |
80（0~60V） |
25（0~150V） |
180(0~60V) |
80(0~150V) |
μm±20% |
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开环分辨率 |
1 |
0.3 |
1 |
0.3 |
2 |
1 |
nm |
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空载谐振频率 |
450 |
450 |
350 |
350 |
- |
- |
Hz±20% |
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带载150g谐频 |
160 |
160 |
- |
- |
- |
- |
Hz±20% |
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静电容量 |
5.5/轴 |
0.75/轴 |
XY5.5、Z11 |
XY0.75、Z1.5 |
12.1/轴 |
1.65/轴 |
μF±20% |
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主体材料 |
不锈钢 |
钛 |
不锈钢 |
钛 |
不锈钢 |
钛 |
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线缆 |
常温线 |
磷铜双绞线 |
常温线 |
磷铜双绞线 |
常温线 |
磷铜双绞线 |
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工作环境 |
-20~80 |
低温4K强磁场30T,超高真空2E-11mbar |
-20~80 |
低温4K强磁场30T,超高真空2E-11mbar |
-20~80 |
低温4K强磁场30T,超高真空2E-11mbar |
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承载 |
≤150 |
≤150 |
100 |
100 |
200 |
200 |
g |
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重量 |
88 |
88 |
168 |
168 |
- |
- |
g±5% |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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