P13A 系 列 压 电 纳 米 定 位 台 是 专 为 极 低 温、 强 磁 场 环境而研发设计,采用低温压电驱动,外壳采用轻型材 料。P13A 为 XY 二维扫描运动,它的体积小巧,尺寸仅 33×33×14.6mm,中心具有 10×10mm 通孔。所有组件均 采用低温强磁兼容版本,以保证其在低温强磁下的性能。
产品特点
耐低温可达 4K |
耐强磁 |
4K 温度下位移达 30μm@150V |
分辨率可达 0.3nm |
开环驱动,快速响应 |
真空版本可选 |
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技术参数 | |||||||
型号 |
P13A.XY90K |
P13A.XYZ80K |
P13A.XY180K |
单位 |
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使用温度 |
常温 |
4K |
常温 |
4K |
常温 |
4K |
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运动方向 |
X、Y |
X、Y |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
X、Y |
X、Y |
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驱动控制 |
2路驱动 |
2路驱动 |
3路驱动 |
3路驱动 |
2路驱动 |
2路驱动 |
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驱动源 |
压电堆栈 |
压电堆栈 |
压电堆栈 |
压电堆栈 |
压电堆栈 |
压电堆栈 |
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标称行程范围 |
90 (0~60V) |
30(0~150V) |
80(0~60V) |
25(0~150V) |
180(0~60V) |
80(0~150V) |
μm±20% |
开环分辨率 |
1 |
0.3 |
1 |
0.3 |
2 |
1 |
nm |
空载谐振频率 |
450 |
450 |
350 |
350 |
- |
- |
Hz±20% |
带载150g谐频 |
160 |
160 |
- |
- |
- |
- |
Hz±20% |
静电容量 |
5.5/轴 |
0.75/轴 |
XY5.5、Z11 |
XY0.75、Z1.5 |
12.1/轴 |
1.65/轴 |
μF±20% |
主体材料 |
不锈钢 |
钛 |
不锈钢 |
钛 |
不锈钢 |
钛 |
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线缆 |
常温线 |
磷铜双绞线 |
常温线 |
磷铜双绞线 |
常温线 |
磷铜双绞线 |
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工作环境 |
-20~80 |
低温4K强磁场30T,超高真空2E-11mbar |
-20~80 |
低温4K强磁场30T,超高真空2E-11mbar |
-20~80 |
低温4K强磁场30T,超高真空2E-11mbar |
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承载 |
≤150 |
≤150 |
100 |
100 |
200 |
200 |
g |
重量 |
88 |
88 |
168 |
168 |
- |
- |
g±5% |
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应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |