P13A 系列低温强磁压电纳米定位台当前位置:产品首页 >> 二维中空式压电扫描台>>P13A 系列低温强磁压电纳米定位台
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P13A 系 列 压 电 纳 米 定 位 台 是 专 为 极 低 温、 强 磁 场 环境而研发设计,采用低温压电驱动,外壳采用轻型材 料。P13A 为 XY 二维扫描运动,它的体积小巧,尺寸仅 33×33×14.6mm,中心具有 10×10mm 通孔。所有组件均 采用低温强磁兼容版本,以保证其在低温强磁下的性能。


产品特点


 耐低温可达 4K

 耐强磁

 4K 温度下位移达 30μm@150V

 分辨率可达 0.3nm

 开环驱动,快速响应

 真空版本可选




位移与电压曲线

    技术参数

型号

P13A.XY90K

P13A.XYZ80K

P13A.XY180K

单位

使用温度

常温

4K

常温

4K

常温

4K

运动方向

X、Y

X、Y

X、Y、Z

X、Y、Z

X、Y

X、Y

驱动控制

2路驱动

2路驱动

3路驱动

3路驱动

2路驱动

2路驱动

驱动源

压电堆栈

压电堆栈

压电堆栈

压电堆栈

压电堆栈

压电堆栈

标称行程范围

90 (0~60V)

30(0~150V)

80(0~60V)

25(0~150V)

180(0~60V)

80(0~150V)

μm±20%

开环分辨率

1

0.3

1

0.3

2

1

nm

空载谐振频率

450

450

350

350

-

-

Hz±20%

带载150g谐频

160

160

-

-

-

-

Hz±20%

静电容量

5.5/轴

0.75/轴

XY5.5、Z11

XY0.75、Z1.5

12.1/轴

1.65/轴

μF±20%

主体材料

不锈钢

不锈钢

不锈钢

线缆

常温线

磷铜双绞线

常温线

磷铜双绞线

常温线

磷铜双绞线

工作环境

-20~80

低温4K强磁场30T,超高真空2E-11mbar

-20~80

低温4K强磁场30T,超高真空2E-11mbar

-20~80

低温4K强磁场30T,超高真空2E-11mbar

承载

≤150

≤150

100

100

200

200

g

重量

88

88

168

168

-

-

g±5%

    P13A.XY90K 尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看

    P13A.XYZ80 尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看

    P13A.XY180K 尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF

P13A.XY90

P13A.XY180K

P13A.XYZ80

Step
参数表/Specs Sheet


使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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