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产品特点
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三维运动 
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位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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| 技术参数 | |||
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型号 |
P12B.XYZ100S |
P12B.XYZ100K |
单位 |
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运动方向 |
X、Y、Z |
X、Y、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 | 3路驱动 |
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标称行程范围（0~150V） |
100/ 轴 |
100/ 轴 |
μm±20% |
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传感器 |
SGS |
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分辨率 |
3 | 1 |
nm |
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中心通孔 |
Ø10 |
Ø10 |
mm |
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空载谐振频率 |
0.03 |
0.03 |
kHz±20% |
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静电容量 |
3.6/ 轴 |
3.6/ 轴 |
μF±10% |
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承载能力 |
250 |
250 |
g±5% |
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台体材料 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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