型号

P15.XYZ300S-C2

P15.XYZ300K-C2

单位

运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

驱动控制

4路驱动

4路驱动

标称行程范围（0~120V）

±120/轴

±120/轴

μm±10%

行程范围（0~150V）

±150/轴

±150/轴

μm±10%

传感器类型

SGS

-

通孔尺寸

66×66

66×66

mm

外形尺寸

150×150×35

150×150×35

mm

闭 / 开环分辨率

10

5

nm

闭环线性度

0.2

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.15

-

%F.S.

俯仰 / 偏航 / 滚动

<100

<100

μrad

运动方向刚度

1

1

N/μm±20%

推 / 拉力

200/10

200/10

N

空载谐振频率

180/200/200

180/200/200

 Hz±20%

带载谐振频率

49/49/69（@5kg）

49/49/69（@5kg）

 Hz±20%

承载能力

5

5

kg

静电容量

21.6/21.6/43

21.6/21.6/43

μF±20%

台体材料

钢、铝

钢、铝